1060 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
8-인치급 SiC 에피박막 성장용 reactor 및 고품위 저결함 에피 성장 최적 공정 개발 |
증착장비 |
1059 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
투명체 Mini LED 의 높이 정밀 측정이 가능한 고속 2D/3D 복합 검사 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1058 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
반도체 세정공정 항온조용 SiC 코팅 장비 및 코팅 기술 개발과 이를 적용한 항온조용 전열판 국산화 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1057 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
인공지능기반 전력반도체 검사장비개발 |
측정/검사 장비 |
1056 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
시스템반도체 패키징 공정을 위한 인공지능 비전검사 장비기술 개발 |
측정/검사 장비 |
1055 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
수kV급 고전력분야용 SiC 전력반도체 계면결함감소를 위한 저온, 고밀도 Radical 산화 장비 개발 |
증착장비 |
1054 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
반도체 제조공정에서 플라즈마 저항 특성이 우수한 과불소 고무 Seal 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1053 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
협피치 비메모리 반도체 Probe Card용 초미세직경 Rod의 Micro Deburring Cutting 가공기술 개발 |
측정/검사 장비 |
1052 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
반도체 온도 검사용 고성능 열전소자 모듈과 그 제어기술 개발 |
측정/검사 장비 |
1051 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
에이치피에스피_신진 연구인력 채용지원사업 |
열처리장비 |
1050 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
인체 무해 222nm UVC LED를 활용한 LED 개인용 손발톱케어 국산화 개발 |
에칭 장비 |
1049 |
고경력연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용지원사업 |
증착장비 |
1048 |
고경력연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용 지원사업 |
측정/검사 장비 |
1047 |
산연협력(예비연구) |
Flip-Chip bonder용 SiC-ZrB2 복합 급속 발열체 기술 개발 및 사업화 |
패키징장비 |
1046 |
산연협력(예비연구) |
반도체 플라즈마 공정장비용 파티클 이슈가 개선된 열전도성 및 전기전도성 개스킷 소재 개발 |
에칭 장비 |