1081 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
반도체 검사용 초정밀스테이지 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1080 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
반도체 세정장비용 내화학성이 우수한 PC계열의 투시패널 감시창 개발 |
세정장비 |
1079 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
RDL/TSV 반도체공정용 진공 전처리 도금 기술이 적용된 웨이퍼 도금 장비 개발 |
패키징장비 |
1078 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
전기식 냉각장치를 활용한 대기오염방지 및 폐수발생저감 기술 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1077 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
반도체 공정용 In-Line AFM 기반의 전기적 특성 계측 / 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1076 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
Fan-Out 반도체 Packaging을 위한 Plasma 처리 장치 |
패키징장비 |
1075 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
AIoT 제어모듈을 포함한 복합체(CNT + CF) 기반의 반도체 공정배관向 스마트 발열시스템 개발 (≥200℃ 온도제어 및 균일성, 시공 용이성을 포함한 생산성 확보) |
기타 반도체장비 |
1074 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 냉각칠러 관리용 적외선 측정기 개발 |
기타 반도체장비 |
1073 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
매엽식 반도체 웨이퍼 세정 장비용 공압 구동 방식 스핀척 개발 |
세정장비 |
1072 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
저온 플라즈마 기술을 이용한 반도체장비에서 발생하는 휘발성유기화합물 제거 장치 개발 |
기타 반도체장비 |
1071 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
반도체 Bevel Etch 공정용 Wafer Auto Align 및 Chroma Vision 검사 System 국산화 개발 |
측정/검사 장비 |
1070 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
EV용 반도체 2KV급 Power Wafer Chip 검사를 위한 Blade Probe Card 자동제작 시스템개발 |
측정/검사 장비 |
1069 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
딥러닝 기반 반도체 패키지 검사를 위한 비전 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1068 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
AP-메모리 통합 패키지 내의 메모리 온도 조절 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1067 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
AP-메모리 통합 패키지 내의 메모리 실장 테스트 장비 개발 |
기타 반도체장비 |