1014 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
반도체 및 디스플레이 장비에 적용되는 전기적 특성(10^8~6x10^9 Ω)을 보유한 탄성체가 코팅된 Clamp 등 부품개발 |
기타 반도체장비 |
1013 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
반도체 칩 벤치마크 및 고장분석을 위한 Hybrid Ion Milling System 장비개발 (분석환경 안전성 확보, 장비국산화 & 수출) |
기타 반도체장비 |
1012 |
맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
무선통신망을 활용한 산업용 정밀장비 평탄도 측정기구 국산화 개발 |
측정/검사 장비 |
1011 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
시스템 반도체 적층 패키지의 3차원 높이와 깊이 동시 검사를 위한 기기 개발 |
측정/검사 장비 |
1010 |
소재부품장비연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용지원사업 |
패키징장비 |
1009 |
고경력연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용지원사업 |
측정/검사 장비 |
1008 |
고경력연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용지원사업 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1007 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
반도체 세정공정용 초고순도 특수가스저장용기 열간공법 공정기술 개발 |
기타 반도체장비 |
1006 |
현장형R&D |
다품종 전선의 자동 공급 및 배출장치 개발을 통한 와이어링 하네스 생산공정 개선 |
기타 반도체장비 |
1005 |
현장형R&D |
웨이퍼 이송 공정 개선을 위한 Al 흡착 홀더 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1004 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
파괴인성 강화 맞춤형 나노탄소소재 제조 및 초미세 Cu 와이어 본딩용 나노탄소소재/세라믹 복합 캐필러리 제작 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1003 |
제조중소기업글로벌역량강화 |
Edge Impedance Control 기술을 적용한 300 mm Dielectric 식각 장치의 성능 향상 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1002 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
초미세 반도체 플라즈마공정을 위한 능동형 RF 전력전달시스템개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1001 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
Single형 반도체 Wafer 세정장비용 메가소닉 Unit 개발 |
세정장비 |
1000 |
수요기반 기술이전 |
이중 교반 시스템을 구비한 연료전지 촉매 귀금속(Pt) 코팅용 원자층 증착 장비 |
증착장비 |