1073 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
매엽식 반도체 웨이퍼 세정 장비용 공압 구동 방식 스핀척 개발 |
세정장비 |
1072 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
저온 플라즈마 기술을 이용한 반도체장비에서 발생하는 휘발성유기화합물 제거 장치 개발 |
기타 반도체장비 |
1071 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
반도체 Bevel Etch 공정용 Wafer Auto Align 및 Chroma Vision 검사 System 국산화 개발 |
측정/검사 장비 |
1070 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
EV용 반도체 2KV급 Power Wafer Chip 검사를 위한 Blade Probe Card 자동제작 시스템개발 |
측정/검사 장비 |
1069 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
딥러닝 기반 반도체 패키지 검사를 위한 비전 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1068 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
AP-메모리 통합 패키지 내의 메모리 온도 조절 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1067 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
AP-메모리 통합 패키지 내의 메모리 실장 테스트 장비 개발 |
기타 반도체장비 |
1066 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
AP-메모리 통합 패키지 메모리 결함 검출 및 문자/바코드 인식 딥러닝 알고리즘 |
기타 반도체장비 |
1065 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
수직형 배치 ALD 증착 장비에 적용 가능한 고밀도 플라즈마 소스 개발 |
증착장비 |
1064 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
Micro OLED 봉지막용 300mm급 고생산성 배치형 ALD 증착 장비 개발 |
증착장비 |
1063 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
반도체 초미세화를 위해 차세대 무단차 하부막 코팅 기술 및 장비 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1062 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
쿼츠 재성형을 통한 건식 식각용 12인치 쿼츠 포커스 링 소재 개발 |
에칭 장비 |
1061 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
최신 제어 기술의 High Throughput Low Defect 8“ CMP 장비 개발 |
폴리싱(CMP) 장비 |
1060 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
8-인치급 SiC 에피박막 성장용 reactor 및 고품위 저결함 에피 성장 최적 공정 개발 |
증착장비 |
1059 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
투명체 Mini LED 의 높이 정밀 측정이 가능한 고속 2D/3D 복합 검사 장비 개발 |
측정/검사 장비 |