기술분야별 지원과제 검색
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기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
1001 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) Single형 반도체 Wafer 세정장비용 메가소닉 Unit 개발 세정장비
1000 수요기반 기술이전 이중 교반 시스템을 구비한 연료전지 촉매 귀금속(Pt) 코팅용 원자층 증착 장비 증착장비
999 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) Hidden Bolting 구조의 2-Piece형 C-Shroud Ring과 다중 체결부 동시 결합 기술의 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
998 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) 그래핀 분산공정기술개발을 통한 나일론 영구대전 방지(마찰대전압 0.05kV) 비평면 전자부품 클리너 개발 세정장비
997 창업성장기술개발사업(전략형) LPP 광원용 고성능 EUV 콜렉터 (EUV Collector) 개발 측정/검사 장비
996 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 대형(1m×2m급 이상) CIP 장비를 활용한 반도체 에칭공정용 저 유전손실을 갖는 500mm급 고밀도 세라믹 Isolator 국산화 기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
995 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 비메모리 반도체 제조공정 국산화·고도화 지원를 위한 200mm(8인치)공정 전용 AI 자가진단 및 진동감쇠모듈 내장형 반도체웨이퍼이송장비 패키지(SMIF POD Handler + Active buffer) 개발 측정/검사 장비
994 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 차세대 인터페이스 기반의 64Gbps급 SSD Tester 시스템 개발 측정/검사 장비
993 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 반도체 전공정 검사/계측/고진공 장비를 위한 초정밀 모션 스테이지 표준 플랫폼 개발 측정/검사 장비
992 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) 반도체 확산 공정용 Plate coil형 쿼츠 히터 3종(U,W,L) 국산화 기술 개발 증착장비
991 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
990 창업성장기술개발사업(TIPS) 디스플레이, 반도체 서브미크론 검사에 최적화된 초고휘도 광원 및 피에조 오토 포커스 모듈 기반의 고성능 검사 시스템 측정/검사 장비
989 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 산업용 X-ray Line Detector의 방수 구조의 설계 측정/검사 장비
988 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 반도체 외산 Chiller의 국산화를 위한 통신/온도 모듈 개발 기타 반도체장비
987 창업성장기술개발사업(디딤돌) 차세대 이미지 센서 특성 검사 시스템(수입장비대체) 측정/검사 장비
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