40 |
중소기업기술혁신개발사업 |
300MM WAFER CASSETTE(FOUP) OPENER 장치 개발 |
기타 반도체장비 |
39 |
중소기업기술혁신개발사업 |
직접플라즈마와 원거리 플라즈마를 이용한 MEMS 공정장비개발 |
기타 반도체장비 |
38 |
중소기업기술혁신개발사업 |
골전도식 헤드마이크 셀 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
37 |
중소기업기술혁신개발사업 |
인식장치를 이용한 High accuracy high speed rotary head module 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
36 |
중소기업기술혁신개발사업 |
HF 플라즈마를 이용한 이용한 Si Wafer 건식 세정기술 |
세정장비 |
35 |
중소기업기술혁신개발사업 |
스템퍼를 이용한 양면 패턴이 적용된 LED용 소형(2"")도광판 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
34 |
중소기업기술혁신개발사업 |
광고용 복합구조 무기 EL DOT MATRIX MODULE개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
33 |
중소기업기술혁신개발사업 |
TFT LCD Back Light Lamp Housing의 정밀설계 및 제작기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
32 |
중소기업기술혁신개발사업 |
SoC(SYSTEM ON CHIP)설계를 위한 실험, 실습 및 설계 장비 |
기타 반도체장비 |
31 |
중소기업기술혁신개발사업 |
RF MODLILE용 메카니칼 트리밍 및 검사장비 |
측정/검사 장비 |
30 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체용 고진공 SCREW형 진공펌프 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
29 |
중소기업기술혁신개발사업 |
광부품및 반도체 제조용 초정밀 XY 스테이지 기술 개발 |
기타 반도체장비 |
28 |
중소기업기술혁신개발사업 |
High Vacuum Ion Gauge Controller(고진공 이온게이지 컨트롤러 개발) |
기타 반도체장비 |
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중소기업기술혁신개발사업 |
플라즈마의 광학적 및 물리적 동시 진단기술 |
노광 트랙장비 |
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중소기업기술혁신개발사업 |
I/V 분석기 및 광분석장치를 부가한 프로브스테이션 일체형 LED칩 검사장치 |
측정/검사 장비 |