2024년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 24년 통합공고문 보러 가기
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No 사업분류 과제명 세부분야
1096 창업성장기술개발사업(전략형) PTFE 소재를 활용한 시스템반도체장비의 면진확보를 위한 소재마찰방식의 지진가속도 저감 장치 개발 기타 반도체장비
1095 산학연플랫폼협력기술개발 반도체용 부분흡착 세라믹 진공척 및 가공기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1094 산학연플랫폼협력기술개발 반도체 식각장비용 실리콘 캐소드 품질 및 공구 마모 모니터링을 위한 AI 기반 비전시스템 개발 측정/검사 장비
1093 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 실시간 모니터링이 가능한 초미세(10nm급 이하) 반도체 공정용 1,000L/h 이상급 고순도 초순수 제조시스템 개발 세정장비
1092 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 12인치 반도체 웨이퍼의 높이 10㎛급 골드 범프 미세피치 형상검사용 2D/3D 광학 시스템 개발 측정/검사 장비
1091 네트워크형기술개발사업(R&BD) 밀폐 패킹 구조, Bolting 체결 기술 개발을 통한 반도체 플라즈마 에칭 공정용 다체형 C-Ring 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1090 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 반도체 공정 습식 세정 설비용 초순수 인라인 테프론 유체 히터 개발 세정장비
1089 현장형R&D LED-PCB용 TAPE MOUNTING 공정 최적화를 위한 자동화 SYSTEM의 개발 패키징장비
1088 현장형R&D 200㎛ 피치간격 패키지 접합용 마이크로컨넥터 제조공정기술개발 패키징장비
1087 산학연플랫폼협력기술개발 반도체 웨이퍼(Wafer)의 건조 공정용 초임계 CO2 Heating System 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1086 산학연플랫폼협력기술개발 비커스 경도 130 이상 고내구성 및 낮은 저항을 가지는 실리콘 러버소켓용 도전 입자 개발 측정/검사 장비
1085 산학연플랫폼협력기술개발 반도체 공정 장비 모니터링을 위한 윈도우 부착형 플라즈마 생성 장치 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1084 산학연플랫폼협력기술개발 스마트제조 공정기술 확보를 위한 반도체 열처리용 고온 고내구성 등방성 흑연 롤러 개발 열처리장비
1083 산학연플랫폼협력기술개발 DDR4 메모리 모듈 실장 환경에서의 Fail Mapping System 측정/검사 장비
1082 창업성장기술개발사업(디딤돌) 1회용 식각 보호 필름이 필요 없는 진공척 기반 웨이퍼 Bevel Etching & Cleaning 모듈 개발 에칭 장비
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