831 |
WC300 R&D |
6Gbps급 DRAM Component 테스터 개발 |
측정/검사 장비 |
830 |
기술창업투자연계과제 |
ICT 소자검사를 위한 소프트 계측 기반의 초소형 검사 솔루션 |
측정/검사 장비 |
829 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
Ø600이상급 CVD-SiC Bulk 소재 제조 기술을 이용한 MOCVD 공정용 Upper Ceiling Plate 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
828 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
DDIC 다층 COF package test용 6Gbps, 3-Parallel MEMS vertical probe card 개발 |
측정/검사 장비 |
827 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 제조 공정용 진공 펌프 수명 연장을 위한 4KW급 변압기형 플라즈마 자동 세정 장치 및 제어 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
826 |
중소기업R&D기획지원사업 |
Wafer Position Confirm System개발 |
측정/검사 장비 |
825 |
중소기업R&D기획지원사업 |
반도체 생산장비용 가스관일체형 히터자켓 개발에 대한 R&D 기획 |
열처리장비 |
824 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 Vacuum Chamber Feedthrough용 Ceramic Insulator 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
823 |
창업성장-기술개발사업 |
스마트 팩토리형 멀티센싱 기능을 가지는 전자동 매거진 세정기 개발 |
세정장비 |
822 |
창업성장-기술개발사업 |
플라즈마 활성종 공급장치의 세계일류상품화를 위한 제품의 고도화 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
821 |
창업성장-기술개발사업 |
Warpage 보정 기능형 복합 박막 두께측정기 개발 |
기타 반도체장비 |
820 |
창업성장-기술개발사업 |
Compact Line Laser을 기반으로 하는 3D 표면형상 측정 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
819 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 생산성 향상을 위한 MEMS 기반 Rotary Linear Motor Picker 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
818 |
제품공정개선기술개발사업 |
다중 SSD 포터블 메모리 평가장비의 개발 |
측정/검사 장비 |
817 |
산학연 Collabo R&D |
초미세 고정밀 자외선 경화를 활용한 디스펜싱 시스템 개발 |
패키징장비 |