2024년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 24년 통합공고문 보러 가기
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No 사업분류 과제명 세부분야
848 중소기업기술혁신개발사업 감압대기 및 불활성가스 환경에서 정전기제거를 위하여 진공자외선(Vacuum Ultra Violet ray)을 이용한 정전기 제거장치 개발 증착장비
847 중소기업기술혁신개발사업 반도체 패키지 다이싱용 메탈-레진 하이브리드 허브리스 마이크로 블레이드 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
846 중소기업기술혁신개발사업 사출가공 공법의 반도체/디스플레이 제조장비용 베벨기어의 국산화 기술개발 기타 반도체장비
845 중소기업기술혁신개발사업 High speed용 CIS 프로브 카드 개발 측정/검사 장비
844 중소기업기술혁신개발사업 미세 패터닝 노광공정에서의 정전기 제거를 위한 고출력 디지털 이오나이저 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
843 중소기업기술혁신개발사업 Pneumatic L-motion 기술이 적용된 12인치급 반도체 박막증착(CVD) 공정용 고진공(1×10-7mbar) Slit Valve의 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
842 중소기업기술혁신개발사업 반도체 공정용 액상 전구체 정밀공급 및 제어장비 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
841 중소기업기술혁신개발사업 차세대 리소그래피용 포토마스크 검사를 위한 정밀 통합광학장비 개발 측정/검사 장비
840 중소기업기술혁신개발사업 4“ & 6” 웨이퍼용 자동화 미세패턴 노광장비 국산 기술개발 노광 트랙장비
839 중소기업기술혁신개발사업 검사 속도 4초, 해상도 6um의 초고속 AXI Planar CT 장비 국산화 개발 측정/검사 장비
838 중소기업기술혁신개발사업 반도체 이온 주입 공정에서 Si 웨이퍼 특성 분석을 위한 광학적 검사 장비 개발 측정/검사 장비
837 중소기업기술혁신개발사업 반도체 제조 세정공정에 적용되는 냉각공기 공급장치 국산화 세정장비
836 중소기업기술혁신개발사업 5G용 반도체레이저의 특성평가 시스템개발 측정/검사 장비
835 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 반도체 공정 Etching Rate 향상을 위한 Slope Type Gas Shower Plate 개발 에칭 장비
834 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 나노-마이크로 수준의 반도체 미세 정밀 분석을 위한 전해 연마 기술 개발 에칭 장비
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