871 |
중소기업R&D기획지원사업 |
반도체 Wafer 미끄럼방지용 고성능 특수 Pad 부품 국산화 제조 R&D |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
870 |
중소기업기술혁신개발사업 |
12kV, 50~500pF 커패시턴스 가변형 진공커패시터 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
869 |
중소기업기술혁신개발사업 |
기류흐름 제어 기술을 이용한 반도체 제조 수율 향상 시스템 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
868 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Defect-free 극자외선 blank mask 제작을 위한 대면적 ion beam sputter source 국산화 개발 |
증착장비 |
867 |
중소기업기술혁신개발사업 |
10nm급 반도체용 100℃ 이하 저온 및 시간당 110매 이상 고생산성 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 |
증착장비 |
866 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 패키지의 저온 스퍼터링 공정을 위한 하부 돌출 전극 밀봉재 및 밀봉기술 국산화 |
증착장비 |
865 |
구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) |
반송 웨이퍼 회수 및 관리 자동화 장비 개발 |
기타 반도체장비 |
864 |
구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) |
In-Fab AFM 검사 장비 구축을 위한 양산기술 확보 |
측정/검사 장비 |
863 |
창업성장-기술개발사업 |
±1A 전류 편차와 양방향 통신기능을 가지는 정전류 모듈을 통하여 불량률 5% 이하 저감을 위한 VCP Line의 통합제어시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
862 |
구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) |
PCB용 SCAN WET 전처리설비 개발 |
기타 반도체장비 |
861 |
창업성장-기술개발사업 |
IoT Chiller를 위한 HMI기반 LoRa IoT솔루션 |
기타 반도체장비 |
860 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 장비 개조를 통한 Dry Clean 신기능 추가로 불산 Zero화 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
859 |
창업성장-기술개발사업 |
직접용융접합법을 이용한 반도체 확산공정용 쿼츠 BTM 히터 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
858 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 공정용 발열 기화 필터 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
857 |
창업성장-기술개발사업 |
방사능 사고대응을 위한 현장형 소형 무인 방사선(능) 연속 탐지시스템 개발 |
측정/검사 장비 |