기술분야별 지원과제 검색
[검색결과: 1131 건]
기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
876 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 반도체 wet 공정 monitoring용 인라인 농도계 개발 측정/검사 장비
875 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 8인치 초고진공 정전척 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
874 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 반도체 패키지용 기판 검사장비 국산화 개발 측정/검사 장비
873 중소기업R&D기획지원사업 컨베이어 모듈화 장치 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
872 중소기업R&D기획지원사업 하이브리드·자동화 웨이퍼 박막 두께 광측정 장비 개발 측정/검사 장비
871 중소기업R&D기획지원사업 반도체 Wafer 미끄럼방지용 고성능 특수 Pad 부품 국산화 제조 R&D 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
870 중소기업기술혁신개발사업 12kV, 50~500pF 커패시턴스 가변형 진공커패시터 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
869 중소기업기술혁신개발사업 기류흐름 제어 기술을 이용한 반도체 제조 수율 향상 시스템 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
868 중소기업기술혁신개발사업 Defect-free 극자외선 blank mask 제작을 위한 대면적 ion beam sputter source 국산화 개발 증착장비
867 중소기업기술혁신개발사업 10nm급 반도체용 100℃ 이하 저온 및 시간당 110매 이상 고생산성 공간분할 원자층 박막 증착 장비 개발 증착장비
866 중소기업기술혁신개발사업 반도체 패키지의 저온 스퍼터링 공정을 위한 하부 돌출 전극 밀봉재 및 밀봉기술 국산화 증착장비
865 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) 반송 웨이퍼 회수 및 관리 자동화 장비 개발 기타 반도체장비
864 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) In-Fab AFM 검사 장비 구축을 위한 양산기술 확보 측정/검사 장비
863 창업성장-기술개발사업 ±1A 전류 편차와 양방향 통신기능을 가지는 정전류 모듈을 통하여 불량률 5% 이하 저감을 위한 VCP Line의 통합제어시스템 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
862 구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) PCB용 SCAN WET 전처리설비 개발 기타 반도체장비
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