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901 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 300mm급 반도체 공정장비 작동중단없이 Wafer Alignment 및 Chamber 내부 실시간 모니터링이 가능한 특정 기기 개발 측정/검사 장비
900 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 이중냉각수로기술을 적용하여 식각공정 효율을 높여 주고 수입을 대체할 수 있는 식각 공정 장비인 정전척용 베이스 플레이트의 국산화 에칭 장비
899 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 1 Printing, 1 Cleaning Cycle Time 12초 이내 초고속 대면적 PCB 표면실장이 가능한 Cream Solder 프린팅 장비 개발 기타 반도체장비
898 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 반도체 포토공정의 TRACK 설비용 포토레지스트 펌프 국산화 및 코팅불량 개선을 위한 배관계통 원격모니터링 시스템 개발 노광 트랙장비
897 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 반도체 Wafer CMP공정의 실시간 PAD 모니터링 및 결함 전수 검사 플랫폼 개발 측정/검사 장비
896 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 32psi급 반도체공정용 200리터 탱크 액상 케미컬 공급장치(BCSS) 개발 기타 반도체장비
895 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) HDP CVD공정용 유량 공차 1% 이내의 Sapphire 소재 Plasma Diffusion Nozzle 국산화 기술 개발 증착장비
894 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 반도체 에칭 장비의 핵심 부품 국산화를 위한 개선형 구조 및 가공 기술 개발 에칭 장비
893 산학협력(예비연구) 반도체 공정용 고효율 ESC 4 Zone PI Film Heater 원천기술 및 제품개발 기타 반도체장비
892 산연협력(예비연구) 진공용 AF 분사장치를 활용한 광학 코팅 공정 및 장치 개발 증착장비
891 산연협력(예비연구) 반도체 제조라인/소재부품 생산 공장의 특수가스 및 케미컬 환경 대응 폭발인화 안전성 확보된 30W급 LED 방폭등 슬림 컴팩트화 개발 기타 반도체장비
890 산학협력(예비연구) 반도체/LCD 공정용 약액 및 DIW 정밀 유량 제어 시스템을 위한 전동 니들 밸브 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
889 스마트센서 선도프로젝트 기술개발 반도체 공정 모니터링용 ppt급 초고감도 가스 분광분석 기술 개발 측정/검사 장비
888 맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) 반도체장비용순간정전보상장치의 개발 기타 반도체장비
887 산연협력(사업화 R&D) 초미세 고정밀 자외선 경화를 활용한 디스펜싱 시스템 개발 패키징장비
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