976 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 웨이퍼 절단장비 전용 40kW급 고출력 스핀들 유니트 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
975 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
WLP 반도체 제품의 통합형 Wafer to Reel 고속 테스트 핸들러 개발 |
측정/검사 장비 |
974 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
하이브리드·자동화 웨이퍼 박막두께 광측정장비 |
측정/검사 장비 |
973 |
중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) |
SiCN 박막 증착용 Dual Type 300㎜ PECVD System 개발 |
증착장비 |
972 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
자기에너지 활용 반도체 Wafer Test 및 이송 자동화 성능 및 생산성 향상 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
971 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
고집적 반도체급 PCB의 Ultra Fine Pitch(Line/Space 5μm X 5μm이하) 미세 회로 제작용 Pilot 장비 개발 |
에칭 장비 |
970 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
웨이퍼 이송 안정성 확보를 위한 반도체 이송로봇의 위치 정밀도 측정 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
969 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
반도체 노광공정의 현상스텝에 대하여 메가소닉 린즈 적용기술 개발 |
노광 트랙장비 |
968 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
5G RF Module용 Multi DUT 프로브카드 |
측정/검사 장비 |
967 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
300mm 웨이퍼 공정용 고진공(HV) 양방향 Rectangular gate valve 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
966 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
차세대형 웨이퍼레벨패키지 광학검사장비 개발 |
측정/검사 장비 |
965 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
디스플레이용 증착 장비 부품용 마그넷 플레이트 조립체 개발 |
증착장비 |
964 |
수요기반 기술이전 |
EUV Pellicle 검사용 광학 부품인 EUV Mirror 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
963 |
수요기반 기술이전 |
하이브리드 나노버블 세정 장비 |
세정장비 |
962 |
수요기반 기술이전 |
반도체 및 디스플레이 양산장비의 대전방지 이송 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |