184 |
연구장비 공동활용지원사업 |
초정밀반사프리즘개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
183 |
연구장비 공동활용지원사업 |
MEMS 관성 센서 개발 |
나노마이크로 센서 |
182 |
연구장비 공동활용지원사업 |
Head UP Display 用 Reflection-Mirror 제작 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
181 |
창업과제-건강진단연계 |
100nm급 구조물 대면적 자동화 제작을 위한 탐침기반 나노공정장비 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
180 |
첫걸음기술개발사업 |
고미세, 고기능성 전자소자의 제조를 위한 3차원 적층형 프린팅 헤드 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
179 |
도약기술개발사업 |
6자유도 능동제어형 제진대 및 진동 측정 시스템 |
시스템 특성분석 및 신뢰성 평가기술 |
178 |
1인 창조기업 |
전기삼투원리 기반 무소음 정량펌프의 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
177 |
제품공정개선기술개발사업 |
미세 채널을 가지는 박형 Heat spreader의 접합 공정 개선을 통한 양산화 모델 개발 |
초소형 디바이스 |
176 |
창업과제-건강진단연계 |
Magnetic air bearing stage를 적용한 탁상형 나노밀링시스템 개발 |
나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
175 |
첫걸음기술개발사업 |
약물코팅용 새로운 Nitrogen guided 전기방사노즐 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
174 |
산학융합 연구마을 지원사업 |
마이크로칩을 포함하는 바이오센서 장치의 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
173 |
기술혁신개발사업 |
슈퍼섬유 제조용 초정밀 마이크로 스피너렛 개발 |
초소형 가공 조립 측정기술 |
172 |
기술혁신개발사업 |
Master 및 Replica stamp 표면 처리장치를 포함한 8 인치 대면적 SCIL(Substrate Conformal Imprint Lithography)용 스탬프 제작설비 및 공정 방법 개발 |
기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
171 |
기술혁신개발사업 |
450mm wafer 공정에서의 나노 결함 검출/분석 시스템 개발 |
시스템 특성분석 및 신뢰성 평가기술 |
170 |
창업과제-건강진단연계 |
멀티 옵티컬 필터 렌즈를 구비한 체인저 시스템 개발 |
초소형 구동장치 |