2024년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 24년 통합공고문 보러 가기
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[검색결과: 1142 건]
기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
1112 지역주력산업육성 양성자 유도 감마선 발생 기술 기반 40 keV급 연구용 소형 이온주입 장비 개발 이온주입장비
1111 지역스타기업육성 전력반도체 소자의 Power Cycle 신뢰성 시험장치 개발 (최대 가열전류: 2,400A) 측정/검사 장비
1110 지역주력산업육성 반도체 크랙 검출을 위한 SWIR(Shortwave Infrared) 기반의 딥러닝 검사 시스템 개발 측정/검사 장비
1109 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 중국 수출향 반도체 Wafer Test 용 저저항 고탄성 이종 금속 다단 접합 MEMs Vertical Probe Pin 개발 측정/검사 장비
1108 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 반도체 금속 배선 증착용 300mm 티타늄(Ti) 스퍼터링 공정챔버 개발 증착장비
1107 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 반도체 핵심 공정장비 챔버내 압력의 정밀제어를 위한 컨트롤 시스템 밸브 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1106 구매조건부신제품개발사업(공동투자형) 비메모리 반도체용 Thin(Warpage) Wafer Defect Inspection System 개발 및 제품화 측정/검사 장비
1105 (비R&D)지역주력산업육성 충남지역기업 성장사다리 지원사업 기타 반도체장비
1104 구매조건부신제품개발사업(공동투자형) 세계 최초/최고 수준 극저온 Etching 장비 방열패드 및 E-band 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1103 창업성장기술개발사업(전략형) PTFE 소재를 활용한 시스템반도체장비의 면진확보를 위한 소재마찰방식의 지진가속도 저감 장치 개발 기타 반도체장비
1102 산학연플랫폼협력기술개발 반도체용 부분흡착 세라믹 진공척 및 가공기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1101 산학연플랫폼협력기술개발 반도체 식각장비용 실리콘 캐소드 품질 및 공구 마모 모니터링을 위한 AI 기반 비전시스템 개발 측정/검사 장비
1100 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 실시간 모니터링이 가능한 초미세(10nm급 이하) 반도체 공정용 1,000L/h 이상급 고순도 초순수 제조시스템 개발 세정장비
1099 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 12인치 반도체 웨이퍼의 높이 10㎛급 골드 범프 미세피치 형상검사용 2D/3D 광학 시스템 개발 측정/검사 장비
1098 네트워크형기술개발사업(R&BD) 밀폐 패킹 구조, Bolting 체결 기술 개발을 통한 반도체 플라즈마 에칭 공정용 다체형 C-Ring 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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