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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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119 | 중소기업기술혁신개발사업 | 슬림 핸드폰 카메라 AF용 초박형 다이어프램 압전 액츄에이터 모듈 개발 | 초소형 구동장치 |
118 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초소수성 나노박막 최적화 반응기 및 공정시스템 개발 | 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
117 | 중소기업기술혁신개발사업 | STRAIN-GAGE 를 이용한 고 정밀도의 변위 측정용 센서 | 초소형 가공 조립 측정기술 |
116 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 3차원 유한요소해에 기초한 Berkovich 압입물성평가 시험기 개발 | 시스템 특성분석 및 신뢰성 평가기술 |
115 | 중소기업기술혁신개발사업 | Laser 간섭계를 적용한 고정도 나노급 Stage system 개발 | 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
114 | 중소기업기술혁신개발사업 | 전자계를 이용한 고효율 멤스 공진 액츄에이터 기술 개발 | 초소형 구동장치 |
113 | 중소기업기술혁신개발사업 | 포러스(Porous)방식의 에어 플로팅(Air Floating)을 이용한 비접촉식 글라스 및 필름 검사장치 개발 | 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
112 | 중소기업기술혁신개발사업 | 무급유 공기베어링을 적용한 300000rpm 초고속회전체 및 이송정밀도100nm급 요소기술에 의한 미소 부품 가공 시스템 개발 | 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
111 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초고속 3차원 나노 높이/형상 측정 시스템 | 나노마이크로 센서 |
110 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체웨이퍼 또는 소자의 측정 또는 검사장비( 반도체 웨이퍼 결함 측정장치) | 나노 마이크로기계시스템 관련 S/W |
109 | 중소기업기술혁신개발사업 | PCB가공용 마이크로드릴제조장비개발 | 초소형 가공 조립 측정기술 |
108 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초정밀박리금형plate국산화개발 | 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
107 | 중소기업기술혁신개발사업 | 감광제를 이용한 LCD 도광판용 stamper 제작 | 초소형 가공 조립 측정기술 |
106 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초정밀 wafer를 이용한 환경 분석기용 미세 유체 혼합기 제조 기술 개발 | 초소형 디바이스 |
105 | 중소기업기술혁신개발사업 | 극초소형 기계시스템용 캔티레버 빔 배열 기구 개발 | 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |