1111 |
지역주력산업육성 |
양성자 유도 감마선 발생 기술 기반 40 keV급 연구용 소형 이온주입 장비 개발 |
이온주입장비 |
1110 |
지역스타기업육성 |
전력반도체 소자의 Power Cycle 신뢰성 시험장치 개발 (최대 가열전류: 2,400A) |
측정/검사 장비 |
1109 |
지역주력산업육성 |
반도체 크랙 검출을 위한 SWIR(Shortwave Infrared) 기반의 딥러닝 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1108 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
중국 수출향 반도체 Wafer Test 용 저저항 고탄성 이종 금속 다단 접합 MEMs Vertical Probe Pin 개발 |
측정/검사 장비 |
1107 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 금속 배선 증착용 300mm 티타늄(Ti) 스퍼터링 공정챔버 개발 |
증착장비 |
1106 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 핵심 공정장비 챔버내 압력의 정밀제어를 위한 컨트롤 시스템 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1105 |
구매조건부신제품개발사업(공동투자형) |
비메모리 반도체용 Thin(Warpage) Wafer Defect Inspection System 개발 및 제품화 |
측정/검사 장비 |
1104 |
(비R&D)지역주력산업육성 |
충남지역기업 성장사다리 지원사업 |
기타 반도체장비 |
1103 |
구매조건부신제품개발사업(공동투자형) |
세계 최초/최고 수준 극저온 Etching 장비 방열패드 및 E-band 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1102 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
PTFE 소재를 활용한 시스템반도체장비의 면진확보를 위한 소재마찰방식의 지진가속도 저감 장치 개발 |
기타 반도체장비 |
1101 |
산학연플랫폼협력기술개발 |
반도체용 부분흡착 세라믹 진공척 및 가공기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1100 |
산학연플랫폼협력기술개발 |
반도체 식각장비용 실리콘 캐소드 품질 및 공구 마모 모니터링을 위한 AI 기반 비전시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1099 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
실시간 모니터링이 가능한 초미세(10nm급 이하) 반도체 공정용 1,000L/h 이상급 고순도 초순수 제조시스템 개발 |
세정장비 |
1098 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
12인치 반도체 웨이퍼의 높이 10㎛급 골드 범프 미세피치 형상검사용 2D/3D 광학 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1097 |
네트워크형기술개발사업(R&BD) |
밀폐 패킹 구조, Bolting 체결 기술 개발을 통한 반도체 플라즈마 에칭 공정용 다체형 C-Ring 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |