998 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
그래핀 분산공정기술개발을 통한 나일론 영구대전 방지(마찰대전압 0.05kV) 비평면 전자부품 클리너 개발 |
세정장비 |
997 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
LPP 광원용 고성능 EUV 콜렉터 (EUV Collector) 개발 |
측정/검사 장비 |
996 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
대형(1m×2m급 이상) CIP 장비를 활용한 반도체 에칭공정용 저 유전손실을 갖는 500mm급 고밀도 세라믹 Isolator 국산화 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
995 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
비메모리 반도체 제조공정 국산화·고도화 지원를 위한 200mm(8인치)공정 전용 AI 자가진단 및 진동감쇠모듈 내장형 반도체웨이퍼이송장비 패키지(SMIF POD Handler + Active buffer) 개발 |
측정/검사 장비 |
994 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
차세대 인터페이스 기반의 64Gbps급 SSD Tester 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
993 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
반도체 전공정 검사/계측/고진공 장비를 위한 초정밀 모션 스테이지 표준 플랫폼 개발 |
측정/검사 장비 |
992 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 확산 공정용 Plate coil형 쿼츠 히터 3종(U,W,L) 국산화 기술 개발 |
증착장비 |
991 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
3way 공압 솔레노이드 밸브 개발을 통한 진동 제어시스템 적용 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
990 |
창업성장기술개발사업(TIPS) |
디스플레이, 반도체 서브미크론 검사에 최적화된 초고휘도 광원 및 피에조 오토 포커스 모듈 기반의 고성능 검사 시스템 |
측정/검사 장비 |
989 |
맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
산업용 X-ray Line Detector의 방수 구조의 설계 |
측정/검사 장비 |
988 |
맞춤형 기술파트너 지원사업(포인트) |
반도체 외산 Chiller의 국산화를 위한 통신/온도 모듈 개발 |
기타 반도체장비 |
987 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
차세대 이미지 센서 특성 검사 시스템(수입장비대체) |
측정/검사 장비 |
986 |
창업성장기술개발사업(디딤돌) |
Wafer Loading Condition Check System의 자동화기술 개발 |
열처리장비 |
985 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
내플라즈마성 산화이트륨계 전구체 및 Bevel Etch용 Plasma Exclusion Zone 세라믹 Ring 제조기술 개발 |
세정장비 |
984 |
현장형R&D |
SMT 후공정 생산라인에서의 자동 솔더링 공정개선 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |