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| 과제번호 | S3150663 |
|---|---|
| 과제명 | 비메모리 반도체 제조공정 국산화·고도화 지원를 위한 200mm(8인치)공정 전용 AI 자가진단 및 진동감쇠모듈 내장형 반도체웨이퍼이송장비 패키지(SMIF POD Handler + Active buffer) 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
| 공고명 | 2021년 중소기업기술혁신개발사업 소부장전략 과제 2차 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2021년 중소기업기술혁신개발사업 소부장전략 과제 2차 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 제노스(주) |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 500,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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