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과제번호 S3280442
과제명 차량 적층(積層) 반도체 웨이퍼용 고정도(高精度) ‘사파이어 캐리어’ 제조기술 개발
사업명 창업성장기술개발사업(전략형)
공고명 2022년도 창업성장기술개발사업 1차(상반기) 전략형(성장동력) 시행계획 재공고
세부공고명 2022년도 창업성장기술개발사업 1차(상반기) 전략형(성장동력) 시행계획 재공고
주관기관명 (주)세미다이아
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 280,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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