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과제번호 S3241173
과제명 AC/DC 겸용 반도체 장비 정밀제어용 초소형 비례제어 액추에이터 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 상반기 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 상반기 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 와스콘
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 430,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비
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