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과제번호 S3237008
과제명 반도체 확산 설비의 New Concept FIMS 제품 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 상반기 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 상반기 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 위존
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 400,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비
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