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| 과제번호 | S3064945 |
|---|---|
| 과제명 | 대형디스플레이(10G 이상) 제조 공정 중 증착 및 식각 장비 등에 적용 가능한 Soft X-ray Tube가 2개 이상 탑재된 정전기제거장치 개발 및 실시간 모니터링을 통한 알람 발생시 자동 전환이 가능한 시스템 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
| 공고명 | 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장전략 과제’ 1차 시행계획 수정 공고 |
| 세부공고명 | 2021년 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략 과제' 제1차 시행계획 수정 공고 |
| 주관기관명 | (주)선재하이테크 |
| 관리기관명 | 부산지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 285,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 디스플레이 >> 디스플레이 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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