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창닫기과제번호 | S2966434 |
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과제명 | 반도체 수율 향상을 위한 웨이퍼 습도 제어 및 모니터링 장치 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제2차 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형 과제’ 제2차 시행계획 공고 |
주관기관명 | (주)저스템 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 451,665,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |