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과제번호 S3222538
과제명 반도체 웨이퍼 및 디스플레이 스프레이 세정공정 분사면의 최소하중 1.0gf/cm2 수준의 정밀압력분석 시스템 개발
사업명 창업성장기술개발사업(전략형)
공고명 2022년도 창업성장기술개발사업 1차(상반기) 전략형(성장동력) 시행계획 재공고
세부공고명 2022년도 창업성장기술개발사업 전략형(성장동력) 제1차 시행계획 공고
주관기관명 와이즈에스엔티
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 280,000,000
과제상태 중단
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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