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과제번호 S3067946
과제명 고집적 반도체급 PCB의 Ultra Fine Pitch(Line/Space 5μm X 5μm이하) 미세 회로 제작용 Pilot 장비 개발
사업명 창업성장기술개발사업(전략형)
공고명 2021년도 창업성장기술개발사업 전략형 과제(소재·부품·장비) 제1차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 창업성장기술개발사업 전략형 과제(소재·부품·장비) 제1차 시행계획 공고
주관기관명 하이쎄미코(주)
관리기관명 대전충남지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 380,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비
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