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| 과제번호 | S3062646 |
|---|---|
| 과제명 | 내플라즈마성 산화이트륨계 전구체 및 Bevel Etch용 Plasma Exclusion Zone 세라믹 Ring 제조기술 개발 |
| 사업명 | 창업성장기술개발사업(전략형) |
| 공고명 | 2021년도 창업성장기술개발사업 전략형 과제(소재·부품·장비) 제1차 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2021년도 창업성장기술개발사업 전략형 과제(소재·부품·장비) 제1차 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 금효기술 |
| 관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 360,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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