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과제번호 S2964081
과제명 초임계 수열합성 신공법을 통해서 High Removal Rate 및 Scratch Free를 구현할 수 있는 CMP용 Ceria Abrasive(산화세륨 연마제) 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제2차 시행계획 공고(수정)
세부공고명 2020년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장확대형 과제’ 제2차 시행계획 수정공고
주관기관명 주식회사 켐톤
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 570,446,000
과제상태 완료
산업기술분류 화학 >> 세라믹재료 >> 원료 및 나노세라믹 분말
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