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| 과제번호 | S2829696 |
|---|---|
| 과제명 | 10nm급 반도체 세정공정용 이류체 스프레이 노즐(산포,표준편차) 국산화 기술 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2019년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업) |
| 주관기관명 | HS하이테크 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 593,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 기계ㆍ소재 >> 나노ㆍ마이크로 기계시스템 >> 기타 나노 마이크로기계시스템 관련기술 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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