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과제번호 S3195538
과제명 시스템 반도체 적층 패키지의 3차원 높이와 깊이 동시 검사를 위한 기기 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 BIG3분야 추천기업 R&D 사업계획서 접수 안내
세부공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 BIG3분야 추천기업 R&D 사업계획서 접수 안내
주관기관명 주식회사엠젠
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 570,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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