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과제번호 S3181548
과제명 반도체 및 디스플레이 장비에 적용되는 전기적 특성(10^8~6x10^9 Ω)을 보유한 탄성체가 코팅된 Clamp 등 부품개발
사업명 창업성장기술개발사업(디딤돌)
공고명 2021년도 창업성장기술개발사업 디딤돌(기관추천) 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 창업성장기술개발사업 디딤돌(기관추천) 제2차 시행계획 공고
주관기관명 에이디하이텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 120,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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