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과제번호 S3147073
과제명 반도체 세정공정용 초고순도 특수가스저장용기 열간공법 공정기술 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형)
공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 시장확대형(BIG3) 과제 제2차 시행계획 공고
세부공고명 2021년도 중소기업기술혁신개발사업 시장확대형(BIG3) 과제 제2차 시행계획 공고
주관기관명 주식회사이엔케이
관리기관명 부산지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 500,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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