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과제번호 S3245758
과제명 광반응(Photo Reaction)을 이용한 반도체 식각용 친환경 고순도 C4F6 가스 생산 기술개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고
주관기관명 (주)진성이엔지
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 499,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 화학 >> 정밀화학 >> 전자산업용 정밀화학소재
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