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과제번호 S3269388
과제명 차세대 내플라즈마 코팅에 필요한 고밀도 내식각성 코팅 박막을 위한 코팅 설비부품 및 플라즈마 내식각성 평가설비 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '강소기업100' 과제 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '강소기업100' 과제 시행계획 공고
주관기관명 밸류엔지니어링
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 1,299,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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