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과제번호 S3269027
과제명 다분할 노광공정을 가진 RTR 노광장비
사업명 지역주력산업육성
공고명 2022년도 지역특화산업육성+(R&D)-지역주력산업육성 지원계획 수정 공고
세부공고명 (자유공모) 2022년도 지역특화산업육성+(R&D)-지역주력산업육성 지원계획 수정 공고
주관기관명 주식회사 새롬에프티
관리기관명 (재)충남지역산업진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 380,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비
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