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과제번호 S3210726
과제명 그리드 커플링 부품의 복합 특성 향상을 위한 가스질화 열처리 공정 개발
사업명 혁신형R&D
공고명 2022년 공정품질기술개발사업 혁신형R&D
세부공고명 2022년 공정품질기술개발사업(혁신형R&D_일반과제) 공고
주관기관명 제일진공HT
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 182,918,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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