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과제번호 S3310863
과제명 스마트제조 공정기술 확보를 위한 반도체 열처리용 고온 고내구성 등방성 흑연 롤러 개발
사업명 산학연플랫폼협력기술개발
공고명 2022년도 산학연 플랫폼 협력(R&D) 시행계획 공고
세부공고명 2022년 산학연 플랫폼 협력기술개발사업 시행계획 공고(산학플랫폼/협력R&D)
주관기관명 금오공과대학교산학협력단
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 145,392,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비
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