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창닫기과제번호 | S3301062 |
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과제명 | I-Motion 구조를 적용한 반도체 공정용 고내구성, 고정밀성 슬릿 밸브 개발 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
공고명 | 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2022년도 중소기업 구매조건부신제품개발사업 '구매연계형 과제' 자유공모(2차) 시행계획 공고 |
주관기관명 | (주)사이언스프로버 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 410,973,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |